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微電子工業

發布時間:2025-03-31 瀏覽:406

微電子工業芯片制造而產生的含氟廢水、硅片研磨廢水以及純水處理混床再生所產生的高濃度酸堿廢水的處理方法,特別對含氟廢水的處理作了大膽的嘗試,取得了明顯的成效.對處理后的合格廢水回收用作工藝設備及動力設備的冷卻水,產生了良好的經濟效益和社會效益.

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